簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Thin film".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="餘輝態"


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    氬電漿餘輝態中電漿增強化學氣相沉積反應之二維模擬
    • 機械工程系 /99/ 碩士
    • 研究生: 范光中 指導教授: 趙修武
    • 本研究建立以氬電漿餘輝態進行矽薄膜沉積之反應機制並進行二維沉積反應之穩態數值模擬,以計算低壓腔體內部矽薄膜成長速率。本研究共考慮17個重要物種,包含電子、質子、自由基氣體、中性氣體等,除求解流場之連…
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